SF6氣體抽真空六氟化硫化裝置性能指標：
（1）型式：移動式、壓力式
（2）工作原理
a、使用壓縮機高壓—冷凝液化SF6氣體。氣液態淨化。
b、幹燥器輔助氣體回收和回充。
c、充氣時經緩衝氣化充入（可加熱）。
（3）工作環境溫度： -10℃（-30可選）--- +40℃
（4）主要性能及技術參數
1、裝置極限真空度<10Pa
2、裝置抽真空速率55--110m3/h (真空泵極限真空度小於0.06Pa)
3、裝置充氣初壓力<133 Pa(用戶要求自定)
4、裝置充氣終壓力≤0.8M Pa
5、裝置充氣速率>20m3/h
6、裝置回收初壓力≤0.8M Pa
7、裝置回收終壓力<5000Pa
8、裝置回收壓縮機速率20m3/h
9、裝置年泄漏率<1%
10、裝置貯罐設計壓力4.5M Pa
11、貯罐容積250KG（含 充氣加熱/ 液位顯示）
12、外形尺寸約1850mm×1200mm×1700mm
13、貯存方式：液態、氣態
14、噪聲≤75dB聲壓級
15、幹燥過濾器再生方式：真空再生加熱活化處理
16、電源：交流三相380V±10%、50HZ
17、裝置總功率<16KW
18、裝置重量：1180公斤
19、淨化：微水10PPm，油份5PPm，微塵≤1微米
SF6氣體抽真空六氟化硫化裝置產品功能：
1、對裝置本機和SF6開關及GIS抽真空及真空測量
2、對液化罐抽真空及真空測量
3、對裝置本身抽真空及真空測量
4、對SF6開關充氣
5、對電器設備中的SF6氣體進行回收包括水份處理、油份處理6、對回收和回充的SF6氣體進行幹燥、淨化處理
7、對SF6電器中的SF6氣體進行回收、液化儲存及殘壓測定
8、可容納80升容積的貯液罐，在設備本體內。
9、對SF6氣體進行壓縮液態貯存。
技術參數：
1、回收
回收初壓力≤0.8MPa
回收終壓力≤50KPa
回收時間：對初壓力0.8MPa的1 m3 SF6氣體容積，回收至終壓力50KPa，回收時間小於2.5小時。
2、充氣
對初壓力為133Pa的1 m3 SF6氣體容積充至0.8MPa，充氣時間小於0.8小時。
3、抽真空
裝置極限真空度小於等於10 Pa
對初壓力為0.1MPa的1 m3 SF6氣體容積抽真空至133Pa所需時間小於1.0小時。
4、貯存
貯存容器容積0.015m3
名義液態貯存量50kg
高貯存壓力3.8 MPa
5、淨化
對含水量1000PPM（體積比）以下的SF6氣體，經本裝置一次回收淨化後，水份小於60PPM（重量比），油份小於10PPM（重量比）
6、年泄漏率≤1%名義儲存量
7、噪聲≤75dB(A)聲壓級
8、工作環境溫度 -10°—40℃
9、功率≤5KW
10、電源：交流三相五線製 50HZ 380V±10%
11、重量約400 kg
12、外形尺寸（長×寬×高）：1360×800×1300
結構特征：
具有回收、充放、淨化、抽真空、貯存、灌瓶等綜合性功能，係統比較完全，參見附錄一係統圖。各功能的串聯或切換主要通過操作集中於麵板一側的電控箱和球閥來完成。
回收裝置的基本工作原理是采用冷凍液化法。在回收時，利用壓縮機的抽吸性和壓縮性把SF6電器設備內一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機，並壓縮至某一較高的壓力。同時利用R22製冷劑的低蒸發溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進行液化、貯存。這樣連續抽吸至SF6壓縮機串聯運行，直至達到回收終壓力。
在充放時，首先利用本裝置的真空泵對SF6電器設備（或鋼瓶）和連接管路進行抽真空，然後直接利用壓差或利用壓縮機的抽吸性並造成一定的壓差將裝置貯存容器內的SF6充入SF6電器設備，直至達到所需的工作壓力。在需灌瓶時則同時利用如前所述的R22製冷劑的特性，將液化的SF6直接灌入鋼瓶。
淨化功能是在完成上述回收、充放功能時同步完成的。
係統中設置了三隻油分離器，分別安裝在真空泵出口一隻及壓縮機的出口二隻，以有效去除SF6氣體所帶的油份。
係統回路中設置了幹燥過濾器，以保證進入貯存容器的SF6的純度並有效去除水份。過濾器帶有加熱再生裝置，可在抽真空下加熱再生，分子篩從而能反複使用。
係統中設有可靠的安全保護裝置，高壓壓力控製器安裝在SF6壓縮機排氣口，一旦排氣壓力超過限定值它會自動停止壓縮機的工作，待壓力下降後再重新啟動壓縮機；安全閥安裝在貯存容器上一旦超壓安全閥自動打開排放氣體，壓力下降後自動關閉。
另外，係統中還設置了監視儀表和控製儀表共七隻，其中真空計一隻，安裝在裝置回收進氣口，並在真空計前裝置了DN8閥門，需要觀察時打開即可；壓力表五隻，分別安裝在回收進氣口、SF6壓縮機排氣口、冷凍壓縮機吸排氣口和貯存容器上；冷凍係統上設置了一隻溫度計，利用溫包感應SF6液體溫度。
係統中真空泵的進口處裝有電磁真空帶充氣閥，並與真空泵接在同一個電源上，當泵停止工作時，閥能自動將真空係統封閉，並將大氣通過泵的進口充入泵腔，從而避免泵油逆流汙染真空係統。
係統中的冷凍係統由高低壓壓力控製器整定冷凍壓縮機的進出口壓力。一旦超出限值範圍將自行切斷冷凍壓縮機的工作，低壓斷開時待壓力回升或高壓斷開時，待壓力回落後，再重新啟動壓縮機。
總體結構，該裝置采用手推移動式，可適應室內外正常環境條件下使用。本裝置係統比較複雜，由真空泵、SF6壓縮機、冷凍係統、貯存容器、管路、各種閥門、儀表及其他附件組成。
電控箱、操作閥門和監視儀表全部集中於一側麵板且有流程指示，因而使用時方便明了。
